在精密机械零部件加工过程中，为了提高气浮导轨的运动性能，可以采用以下三种方法。首先是提高导轨在承载方向上的刚度，导轨结构设计上采用闭式导轨，这比单面可提高刚度2倍；减小气浮间隙；并增大力封闭，气源需稳压供气、清洁供气，减小可能发生的振荡因素。
在供气回路中要设计载荷补偿机构及自动调压装置使气浮间隙变化很小，压力弹簧和滚轮控制气浮间隙；或者合理布局气垫让其自动平衡调整，对高精度测量机，气浮的精度应在0.001-0.002mm以内。
其次可以提高导轨运动时的阻尼力，气垫的孔越多阻尼力越大，刚性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作为气垫，用大面积的微孔代替小孔节流气垫，阻尼力会更大。在精密机械零部件加工允许的情况下，可以采用气-液双相润滑，由于导轨接触面上有油膜存在而增加了阻尼力。
还可以采用半气浮导轨的结构形式，坐标机为气浮导轨和机械导轨相结合的形式，利用了两种导轨运动特性的优点，不仅提高了抗端动的能力，又保持了气浮导轨间隙恒定，且增加了导轨运动的阻尼力，从而提高了导轨的运动性能。
通常精密机械零部件加工，机床不适合在污浊和高温潮湿的环境中工作，电网供电环境也有较高的要求，机床供电电压不应劣于±10%，三相应平衡稳定。过于恶劣的电网****加装稳压电源，机床除正常的保持整洁和润滑以外，还****用心维护及其的各个部件。